품목명(스펙)
웨이퍼증착적층기, 엘립소테크놀러지, SPS-R3-633C, 실시간웨이퍼증착 및 모니터링시스템
사용위치
하이테크관 219-1호 나노전자소자연구실
영문명
Wafer vapor deposition equipment
검색키워드
Wafer vapor deposition equipment, 웨이퍼증착적층기
장비설명
웨이퍼 증착적층기에서 이루어 지는 증착 과정간의 상황을 엘립소미터를 이용하여 실시간으로 감시, 분석 및 제어 할 수 있는 장치
장비구성
및
성능
증착원 아르곤 가스/질소 가스, 옵션/기타 엘립소미터를 이용한 실시간 모니터링 시스템
연구장비 상세조회.jpg)
